希而科欧洲进口BROOKS流量计、流量控制器

• *热式质量流量控制器（MFC），装机量超百万台，半导体行业标配。

• 半导体制程流量 / 压力控制技术，参与制定多项国际行业标准。

• 生物制药、光伏、氢能等新兴领域核心供应商，*超120 个国家的工业客户信赖。

• 美国纳斯达克上市企），研发投入占比超 15%，技术迭代持续。

• *服务网络覆盖北美、欧洲、亚洲，在中国上海、苏州、深圳设技术中心与仓库，48 小时极速响应。

• ✅ MultiFlo 技术：单台设备支持多气体 / 多量程切换，无需拆机，降低 90% 维护成本。

• ✅ 热式传感核心：无移动部件，精度高达 ±0.6% SP，重复性 ±0.1%，长期零漂移。

• ✅ 金属密封洁净技术：5850EM/5964 系列采用全金属焊接密封，适配超高纯 / 腐蚀性气体，泄漏率≤1×10⁻⁹sccm。

• ✅ 智能数字化平台：内置bsc 智能控制芯片，支持远程诊断、预测性维护、数据溯源，适配工业 4.0。

• ✅ 工况适配：耐压最高4500psig，耐温 **-20℃~150℃**，防腐蚀、防颗粒、抗振动，适配严苛制程。

• ✅ 全协议兼容：支持 EtherCAT、Profibus、DeviceNet、RS-485 及模拟信号，无缝对接主流 PLC 系统。

• 半导体制造：晶圆沉积、刻蚀、扩散、离子注入等工艺气体精准控制。

• 生物制药：生物反应器、发酵罐、层析系统气体 / 液体流量精密调控。

• 新能源：光伏硅片制程、氢能燃料电池、锂电池电解液 / 冷却剂流量控制。

• 化工石化：精密反应釜、催化剂输送、高纯气体配比流量 / 压力闭环控制。

• 分析仪器：气相色谱、质谱、环境监测设备标准气体流量校准。

• 真空制程：镀膜、热处理、太空模拟真空度精准测量与控制。

1. 核心产品系列（技术规格 + 结构特点 + 核心价值）

（1）热式质量流量控制器（MFC）

• 代表系列：SLA5800（标准型）、5850EM（金属密封）、5964（超高纯）、SLAMf（高压型）。

• 结构：热式传感元件 + 精密分流器 + 高速电磁阀 + 智能控制板，一体化集成。

• 材质：316L 不锈钢 / 哈氏合金，密封可选氟橡胶 / 金属焊接。

• 参数：流量3sccm~30000slpm，精度±0.6% SP，响应时间＜100ms。

• 特点：MultiFlo 多气体切换、长期稳定、超低泄漏、免校准周期≥2 年。

（2）科里奥利质量流量计（CMF）—— 高精度液体 / 气体

• 代表系列：CMF 1000、CMF 2000、CMF 3000。

• 结构：双振动管 + 电磁驱动 + 相位检测系统，无直管段要求。

• 参数：流量0.1kg/h~10000kg/h，精度±0.15% 读数，密度精度±0.001g/cm³。

• 特点：直接测质量、不受温度 / 压力影响、可测高粘度 / 腐蚀性介质。

（3）压力控制器 / 真空计 —— 压力精准控制

• 代表系列：3750（高压）、1350（标准）、2001（真空）、1024（高精度）。

• 参数：压力范围-1bar~310bar，控制精度±0.1% FS，真空度≤1×10⁻⁷mbar。

• 特点：PID 智能调节、快速响应、过压保护 / 防喘振设计。

（4）变面积流量计（转子流量计）—— 经济可靠

• 代表系列：2520A、3500、4500。

• 参数：流量0.1L/min~1000L/min，精度±2% FS，耐压≤4MPa。

• 特点：结构简单、无需电源、现场直读。

（5）超声流量计 —— 非接触测量

• 代表系列：UF 1000、UF 2000。

• 参数：管径DN15~DN3000，精度±1% 读数，温度-40℃~150℃。

• 特点：无压损、无泄漏、安装无需断管、适配卫生级 / 防爆场景。

（6）智能控制系统与配件

• bsc 智能平台：数据采集、远程监控、故障预警、一键校准。

• 总线模块：EtherCAT/Profibus/DeviceNet 通讯卡，即插即用。

• 原厂配件：密封件、传感器、电磁阀、校准气体，100% 适配、质保 18 个月。

2. 产品系列核心参数对比表

3. 选型黄金法则（精准匹配工况）

介质特性：气体 / 液体、纯度、腐蚀性、温度、粘度、含尘量。

流量精度：一般工况 ±1%、精密制程 ±0.5%、超高纯制程 ±0.15%。

压力等级：低压≤1500psig、中压 1500~3000psig、高压≥3000psig。

通讯需求：模拟信号（0-5V/4-20mA）、数字总线（EtherCAT/Profibus）。

环境要求：防爆等级（Ex d IIC T4）、防护等级（IP65）、安装空间。

1. 热式质量流量控制器（MFC）

✅ SLA5850S1AAB1C2A1（标准型爆款）

• 流量：0~100slpm（N₂）

• 精度：±0.6%SP

• 通讯：4-20mA+RS-485

• 卖点：MultiFlo 支持 10 种气体切换、*装机量最大。

✅ 5850EMB1A1B4B（金属密封高纯型）

• 流量：0~500slpm（Ar）

• 精度：±0.5%SP

• 密封：全金属焊接，泄漏率≤1×10⁻⁹sccm

• 卖点：超高纯制程专用、防污染、适配氧气 / 敏感气体。

✅ SLAMF51SJ1AB1G2A1（高压型）

• 流量：0~200slpm（H₂）

• 压力：最高 4500psig

• 卖点：氢能 / 高压制程专用、抗高压冲击、长期稳定。

2. 科里奥利质量流量计

✅ CMF 2000-050（液体高精度）

• 流量：0~500kg/h

• 精度：±0.15% 读数

• 材质：316L 不锈钢

3. 压力控制器 —— 真空 / 高压核心

✅ 3750CA2A11ADKAFAA（高压控制）

• 压力范围：0~1500psig

• 控制精度：±0.1%FS

• 卖点：高压闭环控制、响应快、过压保护、适配高压反应釜。

✅ 2001E7CG4BB1BB（真空计）

• 测量范围：1×10⁻⁷~1000mbar

• 精度：±0.2%FS

• 卖点：高真空测量、长期稳定、适配镀膜 / 热处理。

4. 变面积流量计 —— 经济实用

✅ 2520A4A30SVVT（小流量）

• 流量：0~30L/min（空气）

• 耐压：4MPa

• 材质：不锈钢

• 卖点：结构简单、现场直读、免维护。